SEM工作原理ppt课件

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1、ppt课件.1第三章第三章 扫描电镜的结构原理扫描电镜的结构原理ppt课件.2JEOL扫描电子显微镜扫描电子显微镜 ppt课件.3扫描电镜成象是利用细聚焦高能扫描电镜成象是利用细聚焦高能电子束在样品表面扫描激发出各电子束在样品表面扫描激发出各种物理信号,如二次电子、背反种物理信号,如二次电子、背反射电子等。通过相应的检测器来射电子等。通过相应的检测器来检测这些信号,再将其转换为视检测这些信号,再将其转换为视频信号来调制显像管的亮度。由频信号来调制显像管的亮度。由于信号的强度与样品表面的形貌、于信号的强度与样品表面的形貌、成分有对应关系,那么逐点在样成分有对应关系,那么逐点在样品上扫描一个面积,

2、在显像管上品上扫描一个面积,在显像管上就相应获得该面积样品表面的形就相应获得该面积样品表面的形貌或成分的一副图象。扫描的面貌或成分的一副图象。扫描的面积越小,放大倍数就越高。积越小,放大倍数就越高。检材检材1的扫描电镜照片的扫描电镜照片 检材检材2的扫描电镜照片的扫描电镜照片 放大放大550倍倍背散射拓扑图片,背散射拓扑图片,不支持二者为同一物质不支持二者为同一物质 ppt课件.5ppt课件.6ppt课件.7ppt课件.8ppt课件.9超薄和扫描电镜观察的内质网超薄和扫描电镜观察的内质网 ppt课件.10电子束和样品的作用电子束和样品的作用emmrr18401105.11.15核原子核埃埃透射

3、电子透射电子;非弹性散射电子;非弹性散射电子;弹型散射电子(小角度,大角度,弹型散射电子(小角度,大角度,背散射);背散射);吸收电子吸收电子;二次电子;二次电子;特征特征X射线;射线;11成像原理成像原理薄薄ppt课件.11二次电子:来源于样品的电子,二次电子:来源于样品的电子,样品外层电子样品外层电子获得能量后,逃离样品。获得能量后,逃离样品。特征特征X射线:来源于样品,样品内层电子获得射线:来源于样品,样品内层电子获得能量后跃迁制较外层,处于不稳定状态,跳回能量后跃迁制较外层,处于不稳定状态,跳回内层时放出内层时放出X射线释放能量射线释放能量ppt课件.12二次电子二次电子;特征特征X射

4、线;射线;背散射电子背散射电子电子束和样品的作用电子束和样品的作用信息携带者信息携带者块块ppt课件.13若:C B A 则:lC lB lA 则:2eC 2eB2eA 2e能量较低能量较低(50ev)厚度:只能从表面几十埃的厚度:只能从表面几十埃的薄层发出(薄层发出(100埃)埃)面积:只从约等于电子束斑面积:只从约等于电子束斑照射的面积发出(几十埃)照射的面积发出(几十埃)分辨率分辨率探针尺寸探针尺寸lACB反差的形成反差的形成原子序数差异原子序数差异表面形貌表面形貌二次电子二次电子 碰撞几率碰撞几率路径长度路径长度原子序数原子序数ppt课件.14aebfdc二次电子产率:二次电子产率:a

5、bde or f(边缘效应边缘效应)e or f无法区分无法区分abdc(尖端效应尖端效应)ppt课件.15扫描原理扫描原理SNeFSNSNSNeFI(行行)t(时间时间)T(行行)I(帧帧)t(时间时间)T(帧帧)ppt课件.16扫描范围:扫描范围:行行I(行)行)帧帧I(帧)帧)扫描速度:扫描速度:行行T(行)行)帧帧T(帧)帧)扫描线数扫描线数=T(帧)帧)/T(行)行)ppt课件.1722 扫描电镜的结构和工作原理扫描电镜的结构和工作原理ppt课件.18ppt课件.19电子枪:基本同透镜电子枪:基本同透镜 但工作电压较低但工作电压较低(1020KV,50KV)?ppt课件.20?聚光系

6、统:将光斑从聚光系统:将光斑从50微米逐级缩小微米逐级缩小几十埃几十埃分辨率分辨率探针尺寸探针尺寸ppt课件.21孔径角:孔径角:末透镜(物镜)末透镜(物镜)2球差球差r电子束弱电子束弱束班尺寸大,束班尺寸大,(分辨率)(分辨率)ppt课件.22探探测测系系统统聚焦极聚焦极闪烁体闪烁体光电倍增管光电倍增管放大放大+250kv+12kv光光电流电流电压电压2eppt课件.23扫描电镜显示器工作原理:扫描电镜显示器工作原理:二次电子二次电子 探测系统输出电压探测系统输出电压 正栅压正栅压 亮度亮度*同步扫描(位置完全对应)同步扫描(位置完全对应)*放大(衰减)放大(衰减)正栅压正栅压(强度正对应)

7、(强度正对应)偏转线圈偏转线圈荧光粉层荧光粉层显显像像管管ppt课件.24显象管扫描显象管扫描样品样品衰减衰减标本被扫区尺寸荧光屏尺寸放大倍数同步扫描同步扫描-放大放大ppt课件.25观察(荧光屏):观察(荧光屏):快扫描:快扫描:?电子束在每点的驻留时间短,信噪比较低清晰度较差电子束在每点的驻留时间短,信噪比较低清晰度较差所需扫描线数所需扫描线数=T(帧)帧)/T(行)行)=荧光屏高度荧光屏高度/人眼分辨率人眼分辨率=100mm/0.1mm=1000线线纪录(底片):纪录(底片):慢扫描:慢扫描:?所需扫描线数所需扫描线数=T(帧)帧)/T(行)行)=荧光屏高度荧光屏高度/底片分辨率底片分辨

8、率=100mm/0.05mm=2000线线ppt课件.26能够在水面上自由行走的水黾能够在水面上自由行走的水黾 mn ppt课件.27虫腿在刺穿水面前的最深水窝侧面图虫腿在刺穿水面前的最深水窝侧面图 中国科学院化学研究所研究员江雷和博士生高雪峰在中国科学院化学研究所研究员江雷和博士生高雪峰在2004年年11月月4日出版的英国日出版的英国自然自然杂志上发表论文,揭开了水黾杂志上发表论文,揭开了水黾“水上水上轻功轻功”的奥秘的奥秘,水黾的腿能排开水黾的腿能排开300倍于其身体体积的水量倍于其身体体积的水量.ppt课件.28水黾腿的无数细长微刚毛水黾腿的无数细长微刚毛 单根刚毛上的精细螺旋状的单根刚毛上的精细螺旋状的纳米凹槽结构纳米凹槽结构 ppt课件.29ppt课件.30ppt课件.31ppt课件.32葡萄球菌扫描电镜图葡萄球菌扫描电镜图ppt课件.33链链 球球 菌菌 扫扫 描描 电镜图电镜图ppt课件.34 大肠杆菌鞭毛扫描电镜大肠杆菌鞭毛扫描电镜ppt课件.35小鼠肾小球的二次电子像小鼠肾小球的二次电子像此课件下载可自行编辑修改,供参考!感谢您的支持,我们努力做得更好!

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