SEM工作原理ppt课件



《SEM工作原理ppt课件》由会员分享,可在线阅读,更多相关《SEM工作原理ppt课件(36页珍藏版)》请在装配图网上搜索。
1、ppt课件.1第三章第三章 扫描电镜的结构原理扫描电镜的结构原理ppt课件.2JEOL扫描电子显微镜扫描电子显微镜 ppt课件.3扫描电镜成象是利用细聚焦高能扫描电镜成象是利用细聚焦高能电子束在样品表面扫描激发出各电子束在样品表面扫描激发出各种物理信号,如二次电子、背反种物理信号,如二次电子、背反射电子等。通过相应的检测器来射电子等。通过相应的检测器来检测这些信号,再将其转换为视检测这些信号,再将其转换为视频信号来调制显像管的亮度。由频信号来调制显像管的亮度。由于信号的强度与样品表面的形貌、于信号的强度与样品表面的形貌、成分有对应关系,那么逐点在样成分有对应关系,那么逐点在样品上扫描一个面积,
2、在显像管上品上扫描一个面积,在显像管上就相应获得该面积样品表面的形就相应获得该面积样品表面的形貌或成分的一副图象。扫描的面貌或成分的一副图象。扫描的面积越小,放大倍数就越高。积越小,放大倍数就越高。检材检材1的扫描电镜照片的扫描电镜照片 检材检材2的扫描电镜照片的扫描电镜照片 放大放大550倍倍背散射拓扑图片,背散射拓扑图片,不支持二者为同一物质不支持二者为同一物质 ppt课件.5ppt课件.6ppt课件.7ppt课件.8ppt课件.9超薄和扫描电镜观察的内质网超薄和扫描电镜观察的内质网 ppt课件.10电子束和样品的作用电子束和样品的作用emmrr18401105.11.15核原子核埃埃透射
3、电子透射电子;非弹性散射电子;非弹性散射电子;弹型散射电子(小角度,大角度,弹型散射电子(小角度,大角度,背散射);背散射);吸收电子吸收电子;二次电子;二次电子;特征特征X射线;射线;11成像原理成像原理薄薄ppt课件.11二次电子:来源于样品的电子,二次电子:来源于样品的电子,样品外层电子样品外层电子获得能量后,逃离样品。获得能量后,逃离样品。特征特征X射线:来源于样品,样品内层电子获得射线:来源于样品,样品内层电子获得能量后跃迁制较外层,处于不稳定状态,跳回能量后跃迁制较外层,处于不稳定状态,跳回内层时放出内层时放出X射线释放能量射线释放能量ppt课件.12二次电子二次电子;特征特征X射
4、线;射线;背散射电子背散射电子电子束和样品的作用电子束和样品的作用信息携带者信息携带者块块ppt课件.13若:C B A 则:lC lB lA 则:2eC 2eB2eA 2e能量较低能量较低(50ev)厚度:只能从表面几十埃的厚度:只能从表面几十埃的薄层发出(薄层发出(100埃)埃)面积:只从约等于电子束斑面积:只从约等于电子束斑照射的面积发出(几十埃)照射的面积发出(几十埃)分辨率分辨率探针尺寸探针尺寸lACB反差的形成反差的形成原子序数差异原子序数差异表面形貌表面形貌二次电子二次电子 碰撞几率碰撞几率路径长度路径长度原子序数原子序数ppt课件.14aebfdc二次电子产率:二次电子产率:a
5、bde or f(边缘效应边缘效应)e or f无法区分无法区分abdc(尖端效应尖端效应)ppt课件.15扫描原理扫描原理SNeFSNSNSNeFI(行行)t(时间时间)T(行行)I(帧帧)t(时间时间)T(帧帧)ppt课件.16扫描范围:扫描范围:行行I(行)行)帧帧I(帧)帧)扫描速度:扫描速度:行行T(行)行)帧帧T(帧)帧)扫描线数扫描线数=T(帧)帧)/T(行)行)ppt课件.1722 扫描电镜的结构和工作原理扫描电镜的结构和工作原理ppt课件.18ppt课件.19电子枪:基本同透镜电子枪:基本同透镜 但工作电压较低但工作电压较低(1020KV,50KV)?ppt课件.20?聚光系
6、统:将光斑从聚光系统:将光斑从50微米逐级缩小微米逐级缩小几十埃几十埃分辨率分辨率探针尺寸探针尺寸ppt课件.21孔径角:孔径角:末透镜(物镜)末透镜(物镜)2球差球差r电子束弱电子束弱束班尺寸大,束班尺寸大,(分辨率)(分辨率)ppt课件.22探探测测系系统统聚焦极聚焦极闪烁体闪烁体光电倍增管光电倍增管放大放大+250kv+12kv光光电流电流电压电压2eppt课件.23扫描电镜显示器工作原理:扫描电镜显示器工作原理:二次电子二次电子 探测系统输出电压探测系统输出电压 正栅压正栅压 亮度亮度*同步扫描(位置完全对应)同步扫描(位置完全对应)*放大(衰减)放大(衰减)正栅压正栅压(强度正对应)
7、(强度正对应)偏转线圈偏转线圈荧光粉层荧光粉层显显像像管管ppt课件.24显象管扫描显象管扫描样品样品衰减衰减标本被扫区尺寸荧光屏尺寸放大倍数同步扫描同步扫描-放大放大ppt课件.25观察(荧光屏):观察(荧光屏):快扫描:快扫描:?电子束在每点的驻留时间短,信噪比较低清晰度较差电子束在每点的驻留时间短,信噪比较低清晰度较差所需扫描线数所需扫描线数=T(帧)帧)/T(行)行)=荧光屏高度荧光屏高度/人眼分辨率人眼分辨率=100mm/0.1mm=1000线线纪录(底片):纪录(底片):慢扫描:慢扫描:?所需扫描线数所需扫描线数=T(帧)帧)/T(行)行)=荧光屏高度荧光屏高度/底片分辨率底片分辨
8、率=100mm/0.05mm=2000线线ppt课件.26能够在水面上自由行走的水黾能够在水面上自由行走的水黾 mn ppt课件.27虫腿在刺穿水面前的最深水窝侧面图虫腿在刺穿水面前的最深水窝侧面图 中国科学院化学研究所研究员江雷和博士生高雪峰在中国科学院化学研究所研究员江雷和博士生高雪峰在2004年年11月月4日出版的英国日出版的英国自然自然杂志上发表论文,揭开了水黾杂志上发表论文,揭开了水黾“水上水上轻功轻功”的奥秘的奥秘,水黾的腿能排开水黾的腿能排开300倍于其身体体积的水量倍于其身体体积的水量.ppt课件.28水黾腿的无数细长微刚毛水黾腿的无数细长微刚毛 单根刚毛上的精细螺旋状的单根刚毛上的精细螺旋状的纳米凹槽结构纳米凹槽结构 ppt课件.29ppt课件.30ppt课件.31ppt课件.32葡萄球菌扫描电镜图葡萄球菌扫描电镜图ppt课件.33链链 球球 菌菌 扫扫 描描 电镜图电镜图ppt课件.34 大肠杆菌鞭毛扫描电镜大肠杆菌鞭毛扫描电镜ppt课件.35小鼠肾小球的二次电子像小鼠肾小球的二次电子像此课件下载可自行编辑修改,供参考!感谢您的支持,我们努力做得更好!
- 温馨提示:
1: 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
2: 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
3.本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
5. 装配图网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 2025开年第一课知敬畏守底线为2025年开门红营造风清气正的干事环境
- 高考倒计时100天学生与家长如何携手前行主题班会
- 2025民营企业座谈会要点速览促进民营经济发展
- 3月5日学习雷锋主题班会争做当代雷锋
- 三八妇女节致敬新时代的巾帼英雄
- 从井冈山歌谣感悟井冈山精神身体力行重唱红歌
- 三八妇女节致敬新时代的巾帼英雄
- 心理开学第一课家长应如何帮助孩子应对开学综合征
- 初三中考百日倒计时动员班会逆袭狂飙促奇迹
- 民俗文化二月二龙抬头主题班会二月二龙抬头风调雨顺好年头
- 3月5日学雷锋纪念日主题班会助人为乐无私奉献
- 幼儿园开学第一课家长会家园共育缓解入学焦虑
- 我们开学啦主题班会新学期新气象新起点
- 人教版四年级数学上册《笔算除法》教学课件
- 深入学习2025新修订《中小学生学籍管理办法》新办法新在哪里