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2、源,機械系熊京民老師的教學網頁,下載實驗課程的,PPT,檔案以及實驗課程表,http:/140.127.6.1/Hsuing/index2.htm,網路資源,學期實驗進度表,學期實驗進度表,課程大綱介紹,實習課程,:,真空鍍膜,(CAPD),真空濺鍍機,(Sputter),雷射,(LASER),電化學,(,平板電極,),黃光微影,RCA clean,課程大綱介紹 實習課程:,授課方式,新興科技實習選修人數,:30,人,分為兩組,:,A,組及,B,組,(,每組各,15,人,),第一週 課程介紹,第二週,B,組上課,A,組實驗,第三週,B,組實驗,A,組上課,第四週,B,組上課,A,組實驗,第五週
3、,B,組實驗,A,組上課,.,.,.,授課方式 新興科技實習選修人數:30人,分組方式,A,、,B,兩組各分成六小組,A,組,:,三組為,3,人 三組為,2,人,B,組,:,三組為,3,人 三組為,2,人,PS:,於,9/25,10,點在,ME213,公佈分組名單,分組方式 A、B兩組各,真空鍍膜,(CAPD),真空鍍膜(CAPD),課程內容,1.,陰極電弧電漿沉積系統設備介紹,2.,長晶原理,3.,製備,ZnO,薄膜實驗,課程內容,真空濺鍍機,(Sputter),真空濺鍍機(Sputter),1.,濺鍍設備介紹,2.,試片清洗流程,3.,操作流程介紹,4.ZnO,薄膜製備及厚膜量測,課程內容
4、,課程內容,雷射實驗,雷射實驗,1.,2,雷射機設備與教學,2.,雷射實驗步驟與檢測,課程內容,課程內容,電化學,(,平板電極,),電化學(平板電極),1.,恆電位儀設備及教學,2.,開迴路實驗步驟與量測,3.,極化曲線實驗步驟與量測,課程內容,課程內容,黃光微影製程實驗,黃光微影製程實驗,1.,實驗目的及原理,2.,藥品與儀器,3.,實驗流程與步驟,4.,實驗結果,課程內容,1.實驗目的及原理課程內容,試片清洗,(RCA clean),實驗,試片清洗(RCA clean)實驗,評分方式,1.,平時成績,閱讀測驗,30%,點名,10%,2.,繳交實驗報告,(,實驗一實驗三,),30%,3.,繳交實驗報告,(,實驗四實驗六,),30%,評分方式 1.平時成績,Thanks for your attention,Thanks for,
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