政府采购进口产品专家论证意见

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1、 政府采购进口产品专家论证意见 一、基本情况 申请单位 郑州轻工业学院 拟采购产品名称 光谱采集分析系统 拟采购产品金额 采购项目所属项目名称 学科建设 采购项目所属项目金额 二、申请理由 1.中国境内无法获取： □ 2.无法以合理的商业条件获取： □ 3.其他。 原因阐述： 光谱采集分析系统属于全自动、高精度、多功能信号探测处理设备，具有快速精确，灵敏度高探测性能，且具有较宽光谱范围，可实现适用于长时间积分，也适用于超快探测模式。因此即可用于诸如拉曼光谱、荧光光谱以及反射光谱等领域光谱分析也可用于快速变化过程的动力学研究。该设备适用于物理、光学、材料

2、、及化学等领域，主要用于不同待测样品时其光谱的检测和采集，分析材料的特性，可对郑州轻工业学院凝聚态物理学科的建设和发展起到重要的推动作用，同时也可为我校材化学院的博士点建设提供有力支持。 目前省内高校均为购置成熟的成套光谱设备，如拉曼光谱仪、红外光谱仪等，不能根据科研需要改变相应的实验条件，如变温变压等。购买光谱仪组件根据需要自行搭建相关光谱测试系统，是目前科研设备发展的方向，也为创新性实验结果提供设备保障。 目前国内生产的光谱采集探测系统精度较低，稳定性较差；国内生产的激光器寿命较短，性能不稳定，不能满足我校承担的国家级科研课题需要。满足相应指标的光谱采集探测系统无法从中国境内获取。特此

3、申请购买该类进口设备。 三、专家论证意见 技术专家信息： 李良彬 中国科技大学 教授 13225691098 技术专家意见： 光谱仪是光物理、光化学、生物物理和材料学交叉学科研究必不可少的强大工具，根据实验条件自行搭建光谱仪是一大亮点，国产光谱仪存在精度不高，性能不稳定的缺点，建议购买进口设备。 技术专家信息： 方亚鹏 湖北工业大学 教授 15871385096 技术专家意见：目前国产光谱仪的空间分辨率和光谱分辨率都不高，无法满足科研的需求，建议购买进口设备。 技术专家信息： 梁二军 郑州大学 教授 138371

4、26869 技术专家意见：进口光谱仪可同时具备超高的成像质量和效率以及较好的灵活性，而国产仪器的精度、参数、性能均无法满足，建议购买进口设备。 技术专家信息： 晁明举 郑州大学 教授 13598866672 技术专家意见： 进口光谱采集分析系统拥有先进的光学设计，分辨率较高，可满足从紫外到近红外范围内的高分辨率光谱采集，提供更多的科研数据，建议购买进口设备。 法律专家信息： 曾俊伟 河南豫都律师事务所 律师 13014503118 法律专家意见：此次申请购买进口设备符合我国相关政策规定，同时该光谱采集分析系统不属于限制进口产品，不违背国家产业

5、政策，建议同意采购该类进口仪器。 《光谱采集分析系统》仪器设备论证专家名单 姓名 单位 技术职称 联系电话（手机） 备注 李良彬 中国科技大学 教授 13225691098 技术专家 方亚鹏 湖北工业大学 教授 15871385096 技术专家 梁二军 郑州大学 教授 13837126869 技术专家 晁明举 郑州大学 教授 13598866672 技术专家 曾俊伟 河南豫都律师事务所 律师 13014503118 法律专家 光谱采集分析系统技术参数 光谱采集分析系统 光谱仪

6、 焦长 320mm 数值孔径 f/4.6 扫描范围 0-1400nm 线色散倒数 2.38nm/mm 波长精度 ±0.2nm 复位精度 ±0.05nm 步长 0.005nm 狭缝 10μm-3mm 电脑接口 USB 光栅 配备300、1200和1800刻线光栅，其CCD分辨率分别为0.304、0.07、0.042nm CCD探测器 暗电流 0.8 读出噪声 3 e- rms (typical), 4 e- rms (maximum)@100kHz 6 e- rms (typical), 8 e- rms (maximum)

7、@2MHz 工作温度 -120℃-室温 CCD分辨率 1340 x 100 像面大小 26.8 x 2.0 mm ADC速率 50, 100, 200, 500 kHz and 1, 2, 4 MHz; 16 bits 非线性度 < 1% @ 100 kHz 垂直转移时间 ≥ 6.67 msec/row (programmable) 模拟增益 1, 2, 4 e-/ADU (high sensitivity); 4, 8, 16 e-/ADU (high capacity) 认证 CE 数据采集软件 可安装于64位Windows操作系统，界面友好 计

8、算机 CPU G2020 2.9GHz 显卡 独立2GB DDR3显卡 内存 4GB DDR3 硬盘 1TB 7200转/分 光驱 DVD光驱 显示器 液晶 18.5英寸以上 激光器1 工作波长 375±5 nm 峰值功率 150mW 工作模式 连续 功率稳定性 <1% 光束发散角 ~1 mrad 光束直径 3 x 5 mm 激光器2 工作波长 785±5 nm 峰值功率 200mW 工作模式 连续 FWHM线宽 <0.3nm 功率稳定性 <5% 带通滤波片 中心波长 375nm

9、 带宽 6nm 平均透过率 90% 直径 25mm 高通滤波片 截止波长 415nm 平均透过率 > 93% 417 - 1100 nm 直径 25mm 陷波滤波片 中心波长 785nm 通光带宽 350-1600nm 陷波带宽 39nm OD >6 光学平台 规格 2400*1200*800mm 螺孔 M6，阵距：25mm 台板厚度 200mm 板面 不锈钢 表3 政府采购进口产品专家论证意见 一、基本情况 申请单位 郑州

10、轻工业学院 拟采购产品名称 正电子符合多普勒展宽谱仪测试系统 拟采购产品金额 采购项目所属项目名称 学科建设 采购项目所属项目金额 二、申请理由 1.中国境内无法获取： □ 2.无法以合理的商业条件获取： □ 3.其他。 原因阐述： 正电子湮没谱对固体中原子尺度的缺陷研究和微结构变化十分敏感，是其他手段无法比拟的。作为电子的反粒子，正电子容易鉴别，又能形成电子偶素，可以替代电子探针来获得材料中更多的信息，已成为一种研究物质微观结构的新手段。我校已采购正电子寿命谱仪，正电子符合多普勒展宽谱仪与正电子寿命谱仪的结合不仅能为凝聚态物理学科的提供重要的设备支撑，同时可

11、以更好地为物理化学、材料、生物等科研领域提供特色鲜明的实验测试手段，提升我校学科的学术水平。 我校本次申请采购的美国ORTEC公司生产的正电子符合多普勒展宽谱仪测试系统性能优良，且目前世界上只有美国ORTEC一家公司生产，该产品已在武汉大学，中国科技大学，中科院高能物理研究所，中科院金属研究所，广西大学等单位使用，反应良好。国内无此类产品及生产厂家。 正电子符合多普勒展宽谱仪测试系统的引进，将使我校成为中原地区唯一一所拥有完备正电子湮没技术的高等院校。该设备的引进可以加强与国内一流大学、科研院所之间的交流与合作，有利于学科人才的引进与培养，有利于促进学科的建设与发展。结合正电子技术对金属、

12、半导体材料检测优势，可以与企业联合实现产学研的有效结合，促进科研成果的转化。 无该设备将直接影响我校材料物理相关科研工作的进展，急需购置。 三、专家论证意见 技术专家信息：陈志权 武汉大学物理科学与技术学院 教授 13986130578 技术专家意见：正电子技术已成为一种研究物质微观结构的新手段。贵校已采购正电子寿命谱仪，符合多普勒展宽谱仪与正电子寿命谱仪一起组成正电子测试系统，丰富测试内容，更全面的开展正电子技术研究工作，提升贵校学科的学术水平。由于目前国内无该类产品的生产厂家，世界上只有美国ORTEC一家公司生产。因此该套设备只能从国外进口。 技术专家信息：吴奕初

13、武汉大学物理科学与技术学院 教授 18971627720 技术专家意见：符合多普勒展宽能谱测量是除寿命谱测量之外用的比较多的实验手段。它主要反映了电子的动量分布，还可以反映价电子和芯电子处的缺陷信息，与寿命谱测试手段一起能更全面的测试固体材料内部的缺陷信息。多普勒展宽谱仪测试系统的引进，有利于促进学科的建设与发展。目前国内无相关类似产品生产厂家，只能从国外进口。 技术专家信息：常方高 河南师范大学物理与信息工程学院 教授13782512771 技术专家意见：符合多普勒展宽谱仪与正电子寿命谱仪的结合可以保证同时测量正电子寿命和湮没g多普勒展宽能谱信息，能更全面的反映正电子与不同

14、动量电子发生湮没的寿命关系结合正电子技术对金属、半导体材料检测优势，可以与企业联合实现产学研的有效结合，促进科研成果的转化。目前世界上只有美国ORTEC一家公司生产，该套设备只能从国外进口。 技术专家信息：李平林 郑州大学物理工程学院 教授 18339813996 技术专家意见：利用正电子寿命谱仪与符合多普勒展宽谱仪同时测量正电子寿命和湮没g多普勒展宽能谱信息，反映正电子与不同动量电子发生湮没的寿命关系，对研究电子偶素在材料中形成、热化过程以及正电子素化学等十分重要。符合多普勒展宽谱仪与正电子寿命谱仪的结合不仅能为凝聚态物理学科的提供重要的设备支撑，同时可以更好地为物理化学、材料、

15、生物等科研领域提供特色鲜明的实验测试手段。目前该设备只有美国ORTEC一家公司生产，只能从国外进口。 法律专家信息：曾俊伟 河南豫都律师事务所 律师 13014503118 法律专家意见：此次申请购买进口设备符合我国相关政策规定，同时该符合多普勒展宽谱仪不属于限制进口产品，不违背国家产业政策，建议同意采购该类进口仪器。 《正电子符合多普勒展宽谱仪》仪器设备论证专家名单 姓名 单位 技术职称 联系电话（手机） 备注 陈志权 武汉大学物理科学与技术学院 教授 13986130578 技术专家 吴奕初 武汉大学物理科学与技术学院 教授 18

16、971627720 技术专家 常方高 河南师范大学物理与信息工程学院 教授 13782512771 技术专家 李平林 郑州大学物理工程学院 教授 18339813996 技术专家 曾俊伟 河南豫都律师事务所 律师 13014503118 法律专家 正电子符合多普勒展宽谱仪测试系统技术参数及要求 技术要求 1. 主要用途 主要用于高分子材料缺陷、微观物质结构、微观电子动量信息的研究。 2. 需求总则 2.1 实时、形象、真实地反映情况 2.2 运行稳定、维护及时快捷 2.3 系统操作简便、直观、有较好的人机操作界面 2.4 支持数据的接入、传

17、输、存储、分析 3. 主要配置 3.1、BaF2探测器2个 3.2、放大器 1个 3.3、多参数测量板卡 1个 3.4、660双路探测器偏压 1个 3.5、4001A/4002D NIM机箱和160W电源 (提供 ±6 V, ±12 V, ±24 V) 1个 3.6、551时间单道分析器 2个 3.7、GEM25P4-PL 高纯锗探测器 2个 3.8、CFG-PH4 水平冷指 2个 3.9、DWR-30 30升液氮杜瓦瓶 2个 3.10、672 能谱放大器（内置自动极零功能） 2个 4

18、. 主要参数 4.1 BaF2 发光时间 时间分辨率190ps 4.2高纯锗探测器GEM25P4-PL 4.1.1 晶体类型：高纯锗 4.1.2 ★相对效率：≥25% 4.1.3 ★能量响应范围：不得小于40keV-10MeV 4.1.4 能量分辨率：对122keV：≤870eV；对1.332keV：≤1.85keV 4.1.5 ★封装：POPTOP可拆卸探头封装。 4.2 双路偏压 4.2.1 0-5000V正负可调 @ 0-100微安。 4.2.2 自带高压截止模块 4.3 机箱供电电源 4.3.1 ±6V，±12V，±24V NI

19、M直流供电 4.3.2 6个标准NIM插槽 4.4 多参数获取卡及配套软件 4.4.1 PCI接口 4.4.2 2路输入，最大输入计数率130Ms/s 14位ADC 4.4.3 梯形滤波 4.4.4 全软件控制1D，2D显示 4.5 液氮制冷装置 4.5.1 损耗率：≤0.7升/天 4.5.2 容量：≥30升 4.6 能谱放大器 4.6.1 放大倍数 1-1500倍可调 4.6.2 噪声<5μV 4.6.3 可极零相消 政府采购进口产品专家论证意见 一、基本情况 申请单位 郑州轻工业

20、学院 拟采购产品名称 X射线光电子能谱仪（XPS） 拟采购产品金额 采购项目所属项目名称 学科建设 采购项目所属项目金额 二、申请理由 1.中国境内无法获取： □ 2.无法以合理的商业条件获取： □ 3.其他。 原因阐述： 1. 必要性： X射线光电子能谱仪（下称XPS）是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器，主要用于固体材料的表面（2～3nm深度）元素成分和价态的定性和定量分析。XPS与成像功能和离子溅射刻蚀相结合，可以用于固体表面元素成分及价态的面分布和深度剖析；与离子蒸镀或其他分子束外延技术相结合，可以进行原位样品的制备及分析工作。XPS在各类功能薄

21、膜的机理研究、纳米材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、催化剂研究与失效分析等方面具有不可替代的作用。 2. 科研方面需求： 目前我校及表界面科学重点实验室承担了多项国家级和省部级科研项目，如国家自然科学基金、河南省自然科学基金、河南省创新人才基金等研究课题包括聚合物材料、无机非金属材料、纳米材料、金属材料、化学工程材料、薄膜材料等方面的研究，利用XPS进行固体材料的表面元素成份及价态的定性、半定量分析，固体表面元素组成的深度剖析及成像，每年到外单位测试的样品数量很大，花费较高，且测试周期长、严重影响了科研工作的正常进行。XPS可应用于金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料矿石等各种材料的

22、研究，以及腐蚀、摩擦、润滑、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研究。有关信息可以为进一步剪裁，调控材料和器件的功能提供直接的依据。为设计功能更为强大，性能更为优越，使用更为方便的新材料提供基础。购买该设备无疑对郑州轻工业学院的教学和科研有重要的促进作用，为我校进一步稳定和引进高层次人才搭建先进的科研平台，创造良好的科研条件；这也与我表界面重点实验室目前正在开展和准备开展的科研工作非常吻合，为下一步建设博士学位点，提高学校和我重点实验室的知名度，起到积极的推动作用。 目前全球制造X射线光电子能谱仪的代表性厂家及其主要型号为：英国岛津Kratos公司；美国赛默飞世尔科技；德国Omicron公司；日本

23、真空PHI公司，Quantera II的产品，它们性能优越且操作简单方便，与功能强大的数据处理软件相结合，可以用于材料表面分析，可获得元素组分、化学状态、面分布以及深度剖析等信息。综上所述，为满足教学、科研需要急需购置1台X射线光电子能谱仪。建议购买该类进口设备。 三、专家论证意见 技术专家信息：张书胜 郑州大学化学系 教授 13513801442 技术专家意见：申请单位拟购置的X射线光电子能谱仪系统用于材料表面分析，可获得元素组分、化学状态、面分布以及深度剖析信息。同时可以对样品进行加热、制冷、气固反应、镀膜等处理实现更广泛分析和研究。开展高水平的研究工作需要高性能的设备平台，建

24、议购买该进口设备。 技术专家信息：张国宝 河南省分析测试中心 研究员 13613813892 技术专家意见：该设备是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器，主要用于固体材料的表面（2～3nm深度）元素成分和价态的定性和定量分析。在现代科学与技术研究中，特别在高分子材料构分析、各类功能薄膜的机理研究、纳米材料分析、复合功能材料研究等方面，XPS往往是不可缺少的大型分析仪器。鉴于郑州轻工业学院承担了很多国家级科研项目，需要开展高水平的科研工作，建议购买XPS。 技术专家信息：赵永德 河南化学研究所 研究员 13803711549 技术专家意见：XPS是材料表面分析技

25、术的最先进方法，不仅可以测试元素组分、化学状态、面分布以及深度剖析信息，同时可以对样品进行加热、制冷、气固反应、镀膜等处理实现更广泛分析和研究。这对于材料结构和构想的判断非常重要。目前本省XPS设备紧缺，不能满足申请单位、兄弟院校及研究所科研的要求，特别是高水平研究工作的测试数据要得到国内外专家认可，目前仅河南大学使用该进口仪器设备，建议同意采购该产品。 技术专家信息：赵清香 郑州大学材料学院 教授 15838198151 技术专家意见：XPS可以给出材料的元素组分及化学状态，丰富使用者对样品的认知，目前国内各大高校开展相关研究工作的实验室所购买的仪器，均为仪器测试高效、灵敏度高

26、、检测范围广的进口设备，郑州轻工业学校现有仪器不能满足教学和科研的要求。申请单位此次购置申请的原因阐述充分，调查清楚，采购XPS设备是很有必要的，建议购买。 法律专家信息：程义贵 高文律师事务所 律师 13901045271 法律专家意见：此次申请购买进口设备符合我国相关政策规定，同时该X射线光电子能谱仪不属于限制进口产品，不违背国家产业政策，建议同意采购该类进口仪器。 《X射线光电子能谱仪（XPS）》仪器设备论证专家名单 姓名 单位 技术职称 联系电话（手机） 备注 张书胜 郑州大学化学系 教授 13513801442 技术专家 张国宝 河南省分析

27、测试中心 研究员 13613813892 技术专家 赵永德 河南化学研究所 研究员 13803711549 技术专家 赵清香 郑州大学材料学院 教授 15838198151 技术专家 程义贵 高文律师事务所 律师 13901045271 法律专家 X射线光电子能谱仪设备技术要求及功能描述一览表 序号 设备名称 技术要求及功能描述 备注 1 X射线光电子能谱仪 多功能型X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectrometer, 简称XPS）是基础的表面分析工具，在化学、化工、新材料、电子工业、

28、能源、冶金、生物医学和环境科学中被广泛应用。多功能型X射线光电子能谱仪以XPS分析系统作为主机基本单元，可以兼容紫外光电子能谱（UPS）、离子散射谱（ISS）、无损深度分析等其他表面分析技术。适于各类具有粉末、薄膜、纤维和块体等不同形态的金属、非金属、半导体、氧化物和化合物、复合材料、纳米材料以及生物材料的表面几个原子层（1～10 nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性等的分析与表征。供货商必须提供采用最新一代技术和工艺制造的X射线光电子能谱仪。 一、系统主要结构和功能要求 1. 主体结构：两室结构，分别是分析室和样品预处理室兼进样室； 2. 主要功能：单色化X射

29、线源、高能单色化X射线源、非单色化双阳极X射线源的常规采谱、非扫描超快速采谱，快速成像，深度剖析，导电不良样品荷电中和，紫外光电子能谱（UPS），离子散射谱（ISS），无损深度剖析重构，自动化五轴样品台样品加热和冷却及超高真空测量装置功能并实配实现这些功能的部件； 3. 样品处理和保护：具备多位样品条（托）停放台，可对样品实施加热、冷却和热清洗，具备惰性气氛样品传输装置。 二、主要技术指标 1.单色化X射线源 1.1 射线源类型：水冷聚焦单色化Al Kα X射线源（供货商必须提供采用最先进的单色化射线源） *1.2 Al Kα 射线源运行功率：≥100W 1.3 能量分辨率：Ag

30、 3d5/2分辨率≤0.45eV，且Ag 3d5/2分辨率0.45eV时计数率≥80kcps 1.4 灵敏度： *1.4.1大束斑：Ag 3d5/2 分辨率优于0.6eV时，计数率强度≥1000kcps 1.4.2小束斑15μm：Ag 3d5/2 分辨率优于0.6eV时，计数率强度≥2.5kcps *1.5 最小获谱束斑：≤15μm *1.6 小束斑选区方式：虚拟探针扫描、阳极靶电子束移动或其它机械选区的样品扫描方式选区分析 1.7 高能X射线源：配备高能靶材，具备高能XPS分析功能 2. 非单色化X射线光源 　 2.1 射线源类型：水冷Mg/Al(或Zr/Mg)双阳极X射线源

31、 2.2 功率：单源功率均不低于400W 2.3 能量分辨率和灵敏度 *2.3.1 大束斑：Ag 3d5/2 分辨率优于0.82eV时，计数率强度≥650kcps 2.3.2小束斑100~110μm：Ag 3d5/2 分辨率优于0.8eV时，计数率强度≥150kcps 3. 能量分析器 　 3.1 能量分析器：180°双聚焦半球扇形能量分析器 3.2平均半径：≥150mm半径 3.3 采谱操作模式：固定通过能(CAE)模式和固定减速比（CRR）模式 3.4 成像操作模式：XPI化学成像模式或XPS Mapping成像模式 3.5 快速成像能量分辨率：和采谱模式保

32、持完全一致 3.6 具备X射线激发的SXI影像，可在高放大倍率下对样品分析点进行定位 4. 能量传输透镜 4.1 能量扫描范围：0~≥3200eV 4.2 通能范围：5~300eV，各档精确校准传输函数 4.3 磁透镜：具备浸入式或平面式磁透镜，在采谱时可以选择性开关 4.4 扫描方式：虚拟探针扫描或其它机械选区的样品扫描方式 4.5 扫描精度：≤1μm 5. 光电子探测系统 　 *5.1 类型：电子倍增器和微通道板探测器的双探测器独立式设计或多通道MCP 5.2 功能：可实现常规采谱，非扫描超快速采谱，成像 5.3 通道数：≥64通道，可实现超过64通道非扫描超快速采谱

33、 6. 真空系统 6.1 分析室：真空腔为μ金属或双层μ金属制造，真空度优于5×10-10mbar 6.2 分析室真空泵：离子泵或分子泵以及前级泵，抽速≥250L/s 6.3 预处理室：抗磁不锈钢制造，真空度优于6.7×10-9mbar 6.4 预处理室真空泵：磁悬浮涡轮分子泵和独立的机械泵，抽速≥200L/s 6.5 预处理室法兰口：预留多个标准法兰口，可用于扩展安装多位样品停放台、加热冷却台、高温高压反应室、样品断裂台、快速进样锁和预冷器等装置 6.6 多样品停放台：可放置多个样品条和样品座 6.7 样品加热冷却台：-150oC~600oC，控温精度&#

34、177;1 oC，可保恒温 6.8 超高真空监控：超高真空规及控制单元1套 7. 荷电中和系统 7.1结构及操作方式：磁透镜+同轴电子枪+离轴低能离子/电子枪的双枪双束中和方式，适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和 7.2 电子源：（非）准直电子源 7.3 操作方式：全自动一键（ON/OFF）操作即可，无需调节电压、束流、气压等参数 7.4 中和效果（PET样品的能量分辨率和灵敏度） 7.4.1 大束斑：PET 上O-C=O 的C 1s半高宽≤0.68eV时C-H的C 1s计数率≥16kcps 7.4.2 大束斑：PET 上O-C=O 的C 1s半高宽≤0.82eV时

35、C-H的C 1s计数率≥110kcps 7.4.3 小束斑100~110μm: PET 上O-C=O 的C 1s半高宽≤0.82eV时C-H的C 1s计数率≥12kcps 8. 离子刻蚀枪 8.1 离子源：Ar源和氩团簇离子源，He源 8.2 束斑大小：200µm～1000µm连续可调 8.3 最大束流：≥5µA 9. 配备反射电子能量损失谱（REELS）扩展分析功能端口 10. 紫外光电子能谱套件 　 10.1 光源：He紫外光源 10.2 能量分辨：Ag 费米边20~80% ≤100meV 10.3 灵敏度：Ag费米边20~80%为100m

36、eV时，计数率≥1000kcps 11. 离子散射谱 11.1 离子源：在清洁的Au表面上使用1keV的He+入射离子 11.2 能量分辨：≤15eV（Au半高宽） 11.3 灵敏度：Au半高宽达到或优于12eV时灵敏度应≥15kcps/nA（Au峰） 12. 无损深度剖析：具备最大熵方法无损表面深度剖析重构功能，可以在不刻蚀破坏样品的情况下，获得样品表面几个纳米深度的元素分布信息 13. 电磁场兼容性： 13.1 可承受最大静态磁场：≥50μT 13.2 可承受最大交变磁场：≥0.28μT 13.3 可承受最大交变电场：≥5V/m 14. 样品台系统 14.1 轴向：5

37、轴样品台，可实现X、Y、Z方向的移动，以及倾斜和旋转的五轴联动，以及常中心定位 14.2 移动范围：X方向≥130mm，Y方向≥25mm，Z方向≥15mm 14.3 倾斜范围：以水平方向为轴－90º～＋90º，角度分辨≤±1º 14.4 旋转范围：0~360º 14.5 样品观察和调整：变焦CCD摄像机观察，全自动调整 14.6 目视观察窗：防X射线玻璃制造，至少2个，位于水平线以上 15. 谱仪控制和数据处理 　 15.1 软件界面：操作简易的全自动计算机控制可视化图形界面 15.2 谱仪控制：系统软件可数字化控制谱仪主机单

38、元的关键部件，以及各真空泵、阀门、光阑、光圈、荷电中和系统、离子枪和加热冷却等功能部件；可通过快速谱自动确定样品最佳分析高度；可进行编程自动测试；可进行远程诊断和系统控制；可设定不同优先度的使用权限 15.3 安全功能：真空、高压、冷却系统的报错和锁定，有效避免误操作 15.4 数据处理：定性分析、定量分析、曲线拟合等完备的XPS数据处理功能，包括多种智能本底扣除方法，常规曲线拟合和锁定参数的关联曲线拟合，可实现深度剖析XPS，角分辨XPS，无损深度分析重构、其他相关的谱仪数据处理功能如UPS数据的处理等；数据处理软件可安装在主机外的其他计算机上使用 15.5 XPS成像处理功能：XPS

39、快速化学像的化学状态的分布显示和定量计算，图—谱重构等全面数据和图像处理功能 15.6 数据库：完整的XPS、UPS和其它相关谱仪完整数据库，终身免费升级。 15.7 数据格式：测试数据包括原始数据及分析结果可存为通用格式 15.8 计算机两台配置：一台预装数据采集和处理软件包，另一台处理及拷贝数据用，当前主流配置，四核CPU（i7处理器，主频3.4），内存8G，硬盘不小于1T，双显示屏（24寸以上液晶显示屏），带DVD刻录机，正版Window操作系统， HP打印机一台 16. 惰性气氛样品传输装置：使用惰性气体气氛保护的样品传输器，可将样品从制备样品的地方不暴露大气地传输到谱仪进样

40、系统上，实现无表面污染的准原位分析。原厂制造，与谱仪主机进样接口完全匹配。 17. 烘烤系统：集成于系统内部，最高烘烤温度不低于120 oC 18. 电气控制柜：与以上系统相关联的电气控制柜 19. 循环冷却水系统：静音内循环冷却水系统，满足阳极靶、石英单色器和磁悬浮涡轮分子泵冷却的需要 20. 不间断电源系统：具备隔离变压器的稳压不间断电源一套，保证仪器整机在断电情况下可持续运行至少2.5小时 21. 精密气路：普氮1瓶，高纯氮（99.99%）1瓶，高纯氩（99.99%）1瓶，高纯氦（99.999%）1瓶；内抛光不锈钢管，长度由仪器与气瓶间距离决定；精密气体减压阀4个。 三、随机

41、工具、备件和资料 1. 标准工具：标准工具包1套，标准样品1套，冷阴极规维护套件1套；盒装手套1盒等； 2. 随机备件：含3年以上消耗品的备件包，至少应包括单色器灯丝，双阳极灯丝，离子枪灯丝，荷电中和器灯丝各1根；单色器阳极靶镀膜1次；照明灯泡1个；去离子水滤芯1个；水流量计传感器1个；各种真空垫圈1套； 3. 相关资料 3.1 谱仪操作指南和维护说明书及其光盘； 3.2 制造商所能提供的全部真空系统图； 3.3 制造商所能提供的全部机械系统装配图； 3.4 制造商所能提供的全部电子学线路图； 3.5 XPS标准谱图手册。 四、保修、维修以及软件升级 1. 保修期：自验收合

42、格之日起三年。在保修期到前一个月安排工程师对谱仪进行检修和维护、排除潜在问题，并向用户提交检修维护报告； 2. 维修响应：接到用户报修2小时内响应，确认需要维修时工程师于24小时内到现场； 3. 软件升级：在不涉及硬件升级的情况下终生免费升级控制和数据处理软件； 五、服务能力、安装与培训 1. 技术服务团队组成：供货厂商拥有完善的全球售后服务体系以及本土专业化XPS技术服务团队，且团队中应有非兼职的国家认可正高职职称技术人员； 2. 技术服务团队能力：本土专业化XPS技术服务团队应具备独立的安装调试能力和元件级维修水平； 3. 安装时间：到货2周内安排工程师赴用户现场进行开箱和安装； 4. 操作和基础应用培训：厂商提供至少为期2周的操作和基础应用培训，学会为止； 5. 高级应用培训：厂商安排资深专家为用户提供高级应用培训； 6. 场地环境检测及布局设计：仪器到货至少1个月前安排工程师赴客户指定地点进行场地环境检测及布局设计。 六、交货地点： 七、交货期： * 为必须满足的关键性技术指标