《自动检测技术与装置》电子课件

《自动检测技术与装置》电子课件,自动检测技术与装置,自动检测,技术,装置,电子,课件 电容式检测元件：可以用来测量位移、振动、角度，还可以测电容式检测元件：可以用来测量位移、振动、角度，还可以测电容式检测元件：可以用来测量位移、振动、角度，还可以测电容式检测元件：可以用来测量位移、振动、角度，还可以测量压力、差压、液位、料位、成分含量等。具有一系列优点：量压力、差压、液位、料位、成分含量等。具有一系列优点：量压力、差压、液位、料位、成分含量等。具有一系列优点：量压力、差压、液位、料位、成分含量等。具有一系列优点：1 1 1 1）结构简单；）结构简单；）结构简单；）结构简单；2 2 2 2）低功耗；）低功耗；）低功耗；）低功耗；3 3 3 3）动态特性好；）动态特性好；）动态特性好；）动态特性好；4 4 4 4）非接触式测量；）非接触式测量；）非接触式测量；）非接触式测量；也有局限性：电容起始值较小，并且电容的变化量更小，容易也有局限性：电容起始值较小，并且电容的变化量更小，容易也有局限性：电容起始值较小，并且电容的变化量更小，容易也有局限性：电容起始值较小，并且电容的变化量更小，容易受寄生杂散电容以及外界各种干扰的影响，必须采取良好的屏受寄生杂散电容以及外界各种干扰的影响，必须采取良好的屏受寄生杂散电容以及外界各种干扰的影响，必须采取良好的屏受寄生杂散电容以及外界各种干扰的影响，必须采取良好的屏蔽和绝缘措施。蔽和绝缘措施。蔽和绝缘措施。蔽和绝缘措施。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 工作原理：工作原理：以电容器为敏感元件，将以电容器为敏感元件，将机械位移量机械位移量转换为转换为电容量变化电容量变化的传感器称为电容式传感器。的传感器称为电容式传感器。电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器变极距式变极距式变极距式变极距式变面积式变面积式变面积式变面积式变介电常数式变介电常数式变介电常数式变介电常数式第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 极板间介质的介电系数；极板间介质的介电系数；极板间介质的介电系数；极板间介质的介电系数；0 0 真空的介电常数，真空的介电常数，真空的介电常数，真空的介电常数，0 0 0 0=8.854=8.854=8.854=8.85410101010-12-12-12-12 F/m F/m F/m F/m；r r 极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，r r r r 1111。工作原理工作原理平行极板电容器的电容量为：平行极板电容器的电容量为：+-第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件极板极板极板极板2 2上移上移上移上移:设动极板未移动时极板间距为设动极板未移动时极板间距为设动极板未移动时极板间距为设动极板未移动时极板间距为d d d d0 0 0 0初始电容量为：初始电容量为：初始电容量为：初始电容量为：电容的相对变化量为：电容的相对变化量为：电容的相对变化量为：电容的相对变化量为：第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件1.1.变极距型电容传感器变极距型电容传感器 略去高次项，得：略去高次项，得：略去高次项，得：略去高次项，得：所以变极距型电容传感器在设计时要考虑满足所以变极距型电容传感器在设计时要考虑满足dddd0 0的条件。且一般的条件。且一般 d d只能在极小的范围内变化。只能在极小的范围内变化。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件非线性误差与非线性误差与非线性误差与非线性误差与 d/dd/dd/dd/d0 0 0 0有关。其表达式为：有关。其表达式为：有关。其表达式为：有关。其表达式为：电容传感器的灵敏度为：电容传感器的灵敏度为：电容传感器的灵敏度为：电容传感器的灵敏度为：第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件动极板上移时：动极板上移时：动极板上移时：动极板上移时：初始位置时，初始位置时，初始位置时，初始位置时，第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件差动式变间隙型电容传感器差动式变间隙型电容传感器第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件提高一倍提高一倍减小减小略去高次项：略去高次项：电容量的相对变化为电容量的相对变化为 ：非线性误差为：非线性误差为：灵敏度：灵敏度：第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件2.2.变面积型电容传感器变面积型电容传感器(角位移变面积型角位移变面积型)第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件定片定片定片定片动片动片动片动片 角位移式角位移式角位移式角位移式第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件线性线性第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件线性线性当其中一个极板发生当其中一个极板发生当其中一个极板发生当其中一个极板发生x x位移后，改变了两极板间的遮位移后，改变了两极板间的遮位移后，改变了两极板间的遮位移后，改变了两极板间的遮盖面积盖面积盖面积盖面积A A ，电容量，电容量，电容量，电容量C C同样随之变化。同样随之变化。同样随之变化。同样随之变化。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件b 直线位移式直线位移式直线位移式直线位移式adx第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件初始电容初始电容初始电容初始电容C C C C0 0 0 0为：为：为：为：当内筒上移当内筒上移当内筒上移当内筒上移x x时，内外筒间的电容时，内外筒间的电容时，内外筒间的电容时，内外筒间的电容C C1 1为：为：为：为：D1D0Lx与与x成线性关系成线性关系第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 圆筒式液位传感器圆筒式液位传感器圆筒式液位传感器圆筒式液位传感器 液位传感器的等效电路液位传感器的等效电路液位传感器的等效电路液位传感器的等效电路C C2 2C C1 1C C首先首先首先首先 2 2r r2 22 2r r1 1h hh hx x3.3.3.3.变介电常数型电容传感器变介电常数型电容传感器变介电常数型电容传感器变介电常数型电容传感器 第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件与被测液位与被测液位hx成线性关系。成线性关系。2 2r r2 22 2r r1 1h hh hx x第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件n n等效电路等效电路 在低频率或在高温高湿条件下在低频率或在高温高湿条件下在低频率或在高温高湿条件下在低频率或在高温高湿条件下 ，电容的等效电路为，电容的等效电路为，电容的等效电路为，电容的等效电路为 电容检测元件等效电路 第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件三、电容式检测元件的温度补偿及抗干扰三、电容式检测元件的温度补偿及抗干扰问题问题n n电容式检测元件的温度补偿电容式检测元件的温度补偿 n n消除寄生电容的影响消除寄生电容的影响1 1电容式检测元件的温度补偿电容式检测元件的温度补偿温温温温度度度度变变变变化化化化使使使使传传传传感感感感器器器器内内内内各各各各零零零零件件件件的的的的几几几几何何何何尺尺尺尺寸寸寸寸和和和和相相相相互互互互位位位位置置置置发发发发生生生生改改改改变变变变，从从从从而改变传感器的电容量而改变传感器的电容量而改变传感器的电容量而改变传感器的电容量,产生温度误差。产生温度误差。产生温度误差。产生温度误差。温温温温度度度度变变变变化化化化使使使使某某某某些些些些介介介介质质质质的的的的介介介介电电电电常常常常数数数数发发发发生生生生改改改改变变变变，从从从从而而而而改改改改变变变变传传传传感感感感器器器器的的的的电电电电容量，产生温度误差。容量，产生温度误差。容量，产生温度误差。容量，产生温度误差。必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度等误差。必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度等误差。必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度等误差。必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度等误差。这种误差虽可用后接的电子电路加以补偿，但无法完全消除。这种误差虽可用后接的电子电路加以补偿，但无法完全消除。这种误差虽可用后接的电子电路加以补偿，但无法完全消除。这种误差虽可用后接的电子电路加以补偿，但无法完全消除。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 寄寄寄寄生生生生电电电电容容容容与与与与传传传传感感感感器器器器电电电电容容容容相相相相并并并并联联联联，影影影影响响响响传传传传感感感感器器器器灵灵灵灵敏敏敏敏度度度度，而而而而它它它它的的的的变变变变化化化化则则则则为为为为虚虚虚虚假假假假信信信信号号号号影影影影响响响响仪仪仪仪器器器器的的的的精精精精度度度度，必必必必须须须须消消消消除除除除和和和和减小它。减小它。减小它。减小它。2 2消除和减小寄生电容的影响消除和减小寄生电容的影响第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件（1 1 1 1）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值（2 2 2 2）集成化）集成化）集成化）集成化（3 3 3 3）采用）采用）采用）采用“驱动电缆驱动电缆驱动电缆驱动电缆”(双层屏蔽等位传输双层屏蔽等位传输双层屏蔽等位传输双层屏蔽等位传输)技术技术技术技术（4 4 4 4）整体屏蔽法）整体屏蔽法）整体屏蔽法）整体屏蔽法第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 （1 1 1 1）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值 采采采采用用用用减减减减小小小小极极极极片片片片或或或或极极极极筒筒筒筒间间间间的的的的间间间间距距距距(平平平平板板板板式式式式间间间间距距距距为为为为0.2mm0.2mm0.2mm0.2mm，圆圆圆圆筒筒筒筒式式式式间间间间距距距距为为为为0.15mm)0.15mm)0.15mm)0.15mm)，增增增增加加加加工工工工作作作作面面面面积积积积或或或或工工工工作作作作长长长长度度度度来来来来增增增增加加加加原原原原始始始始电电电电容容容容值值值值，但但但但受受受受加加加加工工工工及及及及装装装装配配配配工工工工艺艺艺艺、精精精精度度度度、示示示示值值值值范范范范围围围围、击击击击穿穿穿穿电电电电压压压压、结结结结构构构构等等等等限限限限制制制制。一一一一般般般般电电电电容容容容值值值值变变变变化化化化在在在在 10101010-3-3-3-3101010103 3 3 3 pF pF pF pF范围内。范围内。范围内。范围内。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 （2 2 2 2）集成化）集成化）集成化）集成化 将将将将传传传传感感感感器器器器与与与与测测测测量量量量电电电电路路路路本本本本身身身身或或或或其其其其前前前前置置置置级级级级装装装装在在在在一一一一个个个个壳壳壳壳体体体体内内内内，省省省省去去去去传传传传感感感感器器器器的的的的电电电电缆缆缆缆引引引引线线线线。这这这这样样样样，寄寄寄寄生生生生电电电电容容容容大大大大为为为为减减减减小小小小而而而而且且且且易易易易固固固固定定定定不不不不变变变变，使使使使仪仪仪仪器器器器工工工工作作作作稳稳稳稳定定定定。但但但但这这这这种种种种传传传传感感感感器器器器因因因因电电电电子子子子元元元元件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 当当当当电电电电容容容容式式式式传传传传感感感感器器器器的的的的电电电电容容容容值值值值很很很很小小小小，而而而而因因因因某某某某些些些些原原原原因因因因(如如如如环环环环境境境境温温温温度度度度较较较较高高高高)，测量电路只能与传感器分开时，可采用，测量电路只能与传感器分开时，可采用，测量电路只能与传感器分开时，可采用，测量电路只能与传感器分开时，可采用“驱动电缆驱动电缆驱动电缆驱动电缆”技术技术技术技术。（3 3 3 3）“驱动电缆驱动电缆驱动电缆驱动电缆”(双层屏蔽等位传输双层屏蔽等位传输双层屏蔽等位传输双层屏蔽等位传输)技术技术技术技术采用这种技术可使电缆线长达采用这种技术可使电缆线长达采用这种技术可使电缆线长达采用这种技术可使电缆线长达10m10m10m10m之远也不影响仪器的性能。之远也不影响仪器的性能。之远也不影响仪器的性能。之远也不影响仪器的性能。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆，其内屏蔽层，其内屏蔽层，其内屏蔽层，其内屏蔽层与信号传输线与信号传输线与信号传输线与信号传输线(即电缆芯线即电缆芯线即电缆芯线即电缆芯线)通过增益为通过增益为通过增益为通过增益为1 1 1 1的放大器成为等电位，从的放大器成为等电位，从的放大器成为等电位，从的放大器成为等电位，从而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。“驱动电缆驱动电缆驱动电缆驱动电缆”技术技术技术技术第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件由于屏蔽线上有随传感器输由于屏蔽线上有随传感器输由于屏蔽线上有随传感器输由于屏蔽线上有随传感器输出信号变化而变化的电压，出信号变化而变化的电压，出信号变化而变化的电压，出信号变化而变化的电压，因此称为因此称为因此称为因此称为“驱动电缆驱动电缆驱动电缆驱动电缆”。外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。当电容式传感器的初始电容值很大当电容式传感器的初始电容值很大当电容式传感器的初始电容值很大当电容式传感器的初始电容值很大(几百几百几百几百 F)F)F)F)时，只要时，只要时，只要时，只要选择适当的接地点仍可采用一般的同轴屏蔽电缆，电选择适当的接地点仍可采用一般的同轴屏蔽电缆，电选择适当的接地点仍可采用一般的同轴屏蔽电缆，电选择适当的接地点仍可采用一般的同轴屏蔽电缆，电缆可以长达缆可以长达缆可以长达缆可以长达10m10m10m10m，仪器仍能正常工作。，仪器仍能正常工作。，仪器仍能正常工作。，仪器仍能正常工作。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件内内内内外外外外屏屏屏屏蔽蔽蔽蔽层层层层之之之之间间间间的的的的电电电电容容容容是是是是1:11:11:11:1放放放放大大大大器器器器的的的的负负负负载载载载。1:11:11:11:1放放放放大大大大器器器器是是是是一一一一个个个个输输输输入入入入阻阻阻阻抗抗抗抗要要要要求求求求很很很很高高高高、具具具具有有有有容容容容性性性性负负负负载载载载、放放放放 大大大大 倍倍倍倍 数数数数 为为为为 1(1(1(1(准准准准 确确确确 度度度度 要要要要 求求求求 达达达达1/10000)1/10000)1/10000)1/10000)的的的的同同同同相相相相(要要要要求求求求相相相相移移移移为为为为零零零零)放放放放大大大大器器器器。因因因因此此此此“驱驱驱驱动动动动电电电电缆缆缆缆”技技技技术术术术对对对对1:11:1放放放放大大大大器器器器要要要要求求求求很很很很高高高高，电电电电路路路路复复复复杂杂杂杂，但但但但能能能能保保保保证证证证电电电电容容容容式式式式传传传传感感感感器器器器的的的的电电电电容值小于容值小于容值小于容值小于1pF1pF1pF1pF时，也能正常工作。时，也能正常工作。时，也能正常工作。时，也能正常工作。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 将将电电容容式式传传感感器器和和所所采采用用的的转转换换电电路路、传传输输电电缆缆等等用用同同一一个个屏屏蔽蔽壳壳屏屏蔽蔽起起来来，正正确确选选取取接接地地点点可可减减小小寄寄生生电电容容的的影影响响和和防防止外界的干扰。止外界的干扰。（4）整体屏蔽法）整体屏蔽法第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件C C C C1 1 1 1和和和和C C C C2 2 2 2构构构构成成成成差差差差动动动动电电电电容容容容传传传传感感感感器器器器，与与与与平平平平衡衡衡衡电电电电阻阻阻阻Z Z Z Z1 1 1 1和和和和Z Z Z Z2 2 2 2组组组组成成成成测量电桥，测量电桥，测量电桥，测量电桥，CpCpCpCp1 1 1 1和和和和CpCpCpCp2 2 2 2为寄生电容为寄生电容为寄生电容为寄生电容 。交流电桥的整体屏蔽交流电桥的整体屏蔽交流电桥的整体屏蔽交流电桥的整体屏蔽第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件屏屏屏屏蔽蔽蔽蔽层层层层接接接接地地地地点点点点选选选选择择择择在在在在两两两两平平平平衡衡衡衡电电电电阻阻阻阻阻阻阻阻抗抗抗抗臂臂臂臂Z Z Z Z1 1 1 1和和和和Z Z Z Z2 2 2 2中中中中间间间间，使使使使电电电电缆缆缆缆芯芯芯芯线线线线与与与与其其其其屏屏屏屏蔽蔽蔽蔽层层层层之之之之间间间间的的的的寄寄寄寄生生生生电电电电容容容容CpCpCpCp1 1 1 1和和和和CpCpCpCp2 2 2 2分分分分别别别别与与与与Z Z Z Z1 1 1 1和和和和Z Z Z Z2 2 2 2相相相相并并并并联联联联。如如如如果果果果Z Z Z Z1 1 1 1和和和和Z Z Z Z2 2 2 2比比比比CpCpCpCp1 1 1 1和和和和CpCpCpCp2 2 2 2的的的的容容容容抗抗抗抗小小小小得得得得多多多多，则则则则寄寄寄寄生生生生电电电电容容容容CpCpCpCp1 1 1 1和和和和CpCpCpCp2 2 2 2对对对对电电电电桥桥桥桥平平平平衡状态的影响就很小。衡状态的影响就很小。衡状态的影响就很小。衡状态的影响就很小。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件交流电桥的整体屏蔽交流电桥的整体屏蔽交流电桥的整体屏蔽交流电桥的整体屏蔽电容式传感器的应用电容式传感器的应用 电子技术的发展，解决了电容式传感器存在的许多电子技术的发展，解决了电容式传感器存在的许多电子技术的发展，解决了电容式传感器存在的许多电子技术的发展，解决了电容式传感器存在的许多技术问题，使电容式传感器不但广泛应用于技术问题，使电容式传感器不但广泛应用于技术问题，使电容式传感器不但广泛应用于技术问题，使电容式传感器不但广泛应用于精确测量位精确测量位精确测量位精确测量位移、厚度、角度、振动等物理量移、厚度、角度、振动等物理量移、厚度、角度、振动等物理量移、厚度、角度、振动等物理量，还应用于，还应用于，还应用于，还应用于测量力、压测量力、压测量力、压测量力、压力、差压、流量、成分、液位等参数力、差压、流量、成分、液位等参数力、差压、流量、成分、液位等参数力、差压、流量、成分、液位等参数，在自动检测与控，在自动检测与控，在自动检测与控，在自动检测与控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。制系统中也常常用来作为位置信号发生器。制系统中也常常用来作为位置信号发生器。制系统中也常常用来作为位置信号发生器。第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 电容式差压传感器电容式差压传感器电容式差压传感器电容式差压传感器差动型差动型差动型差动型凹玻璃圆片凹玻璃圆片凹玻璃圆片凹玻璃圆片弹性膜片弹性膜片弹性膜片弹性膜片(动电极动电极动电极动电极)固定电极固定电极固定电极固定电极P例例例例1 1 1 1 电容式压差传感器电容式压差传感器电容式压差传感器电容式压差传感器P弹性膜片弹性膜片弹性膜片弹性膜片(动电极动电极动电极动电极)固定电极固定电极固定电极固定电极电容式压力传感器电容式压力传感器电容式压力传感器电容式压力传感器单只变间隙型单只变间隙型单只变间隙型单只变间隙型第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件例例例例2 2 2 2 电容式称重传感器电容式称重传感器电容式称重传感器电容式称重传感器 电容式称重传感器电容式称重传感器第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件 电容式称重传感器电容式称重传感器 电容式称重传感器电容式称重传感器F在弹性钢体上高度相同处打一排孔，在孔内形成一排平行的平板在弹性钢体上高度相同处打一排孔，在孔内形成一排平行的平板在弹性钢体上高度相同处打一排孔，在孔内形成一排平行的平板在弹性钢体上高度相同处打一排孔，在孔内形成一排平行的平板电容，当称重时，钢体上端面受力，圆孔变形，每个孔中的电容电容，当称重时，钢体上端面受力，圆孔变形，每个孔中的电容电容，当称重时，钢体上端面受力，圆孔变形，每个孔中的电容电容，当称重时，钢体上端面受力，圆孔变形，每个孔中的电容极板间隙变小，其电容相应增大。由于在电路上各电容是并联的，极板间隙变小，其电容相应增大。由于在电路上各电容是并联的，极板间隙变小，其电容相应增大。由于在电路上各电容是并联的，极板间隙变小，其电容相应增大。由于在电路上各电容是并联的，因而输出反映的结果因而输出反映的结果因而输出反映的结果因而输出反映的结果是平均作用力的变化，是平均作用力的变化，是平均作用力的变化，是平均作用力的变化，测量误差大大减小测量误差大大减小测量误差大大减小测量误差大大减小（误差平均效应）（误差平均效应）（误差平均效应）（误差平均效应）第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件例例例例3 3 3 3 电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件例例例例4 4 4 4 电容式料位和液位传感器电容式料位和液位传感器电容式料位和液位传感器电容式料位和液位传感器测定电极安装在金属储罐测定电极安装在金属储罐测定电极安装在金属储罐测定电极安装在金属储罐的顶部，储罐的罐壁和测的顶部，储罐的罐壁和测的顶部，储罐的罐壁和测的顶部，储罐的罐壁和测定电极之间形成了一个电定电极之间形成了一个电定电极之间形成了一个电定电极之间形成了一个电容器。容器。容器。容器。电容式料位传感器电容式料位传感器电容式料位传感器电容式料位传感器第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件例例例例4.4.电容式键盘电容式键盘电容式键盘电容式键盘常规的键盘有常规的键盘有常规的键盘有常规的键盘有机械按键和电容按键机械按键和电容按键机械按键和电容按键机械按键和电容按键两种。两种。两种。两种。电容式键盘是基于电容式开关的键盘，原理是通过按电容式键盘是基于电容式开关的键盘，原理是通过按电容式键盘是基于电容式开关的键盘，原理是通过按电容式键盘是基于电容式开关的键盘，原理是通过按键改变电极间的距离产生电容量的变化，暂时形成震键改变电极间的距离产生电容量的变化，暂时形成震键改变电极间的距离产生电容量的变化，暂时形成震键改变电极间的距离产生电容量的变化，暂时形成震荡脉冲允许通过的条件。这种开关是无触点非接触式荡脉冲允许通过的条件。这种开关是无触点非接触式荡脉冲允许通过的条件。这种开关是无触点非接触式荡脉冲允许通过的条件。这种开关是无触点非接触式的，磨损率极小。的，磨损率极小。的，磨损率极小。的，磨损率极小。利用变极距型电容传感器实现信息转换利用变极距型电容传感器实现信息转换利用变极距型电容传感器实现信息转换利用变极距型电容传感器实现信息转换第四节第四节 电容式检测元件电容式检测元件